• 
    
  • <ul id="2cuwi"><sup id="2cuwi"></sup></ul>
  • 新聞資訊/NEWS

    首頁   >    新聞資訊   >   Proton氫氣發生器 MOCVD中*的好幫手

    Proton氫氣發生器 MOCVD中*的好幫手

    點擊次數:2888次  更新時間:2019-02-23

      MOCVD被稱為有機金屬化學氣相沉積法,就是以金屬有機物(如TMGa, TMAI, TMIn, TEGa 等)和烷類(如AsH3, PH3, NH3 等)為原料進行化學氣相沉積生長單晶薄膜的一種技術,以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延。金屬有機化合物大多是具有高蒸氣壓的液體,通過氫氣、氮氣或者其他惰性氣體作為載氣,將其攜帶出與烷類混合,再共同入反應室高溫下發生反應。

      氫氣在MOCVD中擔當載氣,將III(II)金屬有機物和V(VI)族氫化物以及摻雜源攜帶運輸到反應室內,為化學沉積反應和薄膜生長提供基礎。MOCVD要求氫氣純度≥99.999%(≥5N),進口壓力為4-7bar,而Proton G4800和S系列氫氣發生器所產氫氣可以符合這一領域的用氣需求。

    Proton G4800

     

    Proton S20/S40

     

      其中,Proton G4800輸出氫氣的純度為99.9999%(6N),含水量小于1ppm,氫氣純度優于MOCVD設備的要求,有利于提高半導體薄膜品質和設備產出;同時,氫氣純度穩定不變,減少了氫氣純度波動對設備的影響。

      另外,G4800和S系列氫氣發生器是現場制氫,發生器內部氫氣儲藏量少。同時,內置可燃氣體探測器,一旦氫氣泄漏,發生器報警停機,將降低氫氣的危險系數。

      此外,該系列設備操作便捷,保障氫氣供應連續不間斷,用戶無需擔心氫氣用完,也無需和高壓氣體鋼瓶接觸。發生器自動運行,無需額外人工操作;發生器自動偵測自身工作狀態和錯誤,一旦偵測異常,發生器報警。

    上一篇:鏷鐓實驗室設備(Proton)誠招區域代理商    下一篇:沒有了
    關注我們:

    © 2018 普敦科技 版權所有  備案圖標.png    管理登陸    技術支持:化工儀器網    GoogleSitemap

    主站蜘蛛池模板: 国产精品女同一区二区| 国产精品久久网| 国产亚洲精品一品区99热| 看99视频日韩精品| 久久精品麻豆日日躁夜夜躁| 精品综合久久久久久88小说| 久久99精品综合国产首页| 中文精品无码中文字幕无码专区| 国产成人精品免高潮在线观看| 国产成人精品无码免费看| 亚洲精品无码久久久久去q| 精品视频久久久久| 国产成人无码精品久久久久免费| WWW国产精品内射老师| 亚洲精品国产品国语在线| 欧美成人精品欧美一级乱黄一区二区精品在线 | 99热在线日韩精品免费| 亚洲精品成人无限看| 日本精品一区二区三区在线视频一 | 欧美精品在线免费| 国产精品H片在线播放| 久久精品国产亚洲麻豆| 国产精品三级国产电影| 久久久久99精品成人片直播| 中文字幕乱码中文乱码51精品| 欧美精品丝袜久久久中文字幕| 国产三级精品三级| 国产69精品久久久久99尤物| 免费91麻豆精品国产自产在线观看 | 精品无码人妻夜人多侵犯18| 亚洲精品乱码久久久久66| 在线观看91精品国产网站| 合区精品中文字幕| 亚洲?V无码成人精品区日韩| 欧美精品在线免费| 亚洲AV永久无码精品一区二区国产 | 亚洲欧美日韩国产精品| 亚洲av午夜成人片精品电影| 亚洲精品网站在线观看不卡无广告| 免费精品久久久久久中文字幕 | 欧美精品高清在线观看|